MILA-700ARアルバックグループのアルバック理工株式会社(本社 神奈川県横浜市、代表取締役社長 石井芳一)は、冷却 水を使わない赤外線ゴールドイメージ炉を搭載した空冷卓上型ランプ加熱装置「MILA-700AR」を開発し、2011年6月から販売を開始することにな りましたので発表いたします。

アルバック理工では、地球温暖化対策に寄与するため、省エネ商品の開発を推進しています。

従来の卓上型ランプ加熱装置「MILA5000シリーズ」は、Siウエハ、化合物ウエハの高速加熱などに使用するもので、炉体が高温になるのを抑えるた め、冷却水循環装置を装備しており、加熱および冷却には最大7kWの電力が必要で、消費電力の低減化が求められていました。そこで、当社では、冷却水を使 わない空冷卓上型ランプ加熱装置「MILA-700AR」の開発を行い、消費電力を最大1.5kWに抑えました。特長、用途、仕様は次のとおりです。

特長

  • 冷却ファンによる空冷方式を採用(冷却水不要)
  • 壁コンセント(AC100V 15A)で使用可能
  • 加熱炉、チャンバ、温度制御器を一体にした卓上型
  • 赤外線ゴールドイメージ炉でクリーンな高速加熱冷却
  • 温度レシピはUSB接続したパソコンで簡単入力
  • 加熱中の温度データをパソコン画面に表示可能(テキストファイルとして保存も可能)
  • デジタルガス流量計を標準装備。N2ガス、Arガス、乾燥空気の選択が可能

用途

  • Siウエハ、化合物ウエハの高速加熱
  • 光CVDの基板加熱などエレクトロニクス材料の高速加熱
  • ガラス基板、セラミックス、複合材料などの熱処理
  • 熱サイクル試験
  • 金属材料の焼鈍
  • コーティング膜の耐熱評価
  • 有機材料、樹脂類の加熱、乾燥

仕様

  • 温度範囲: 室温~700°C (最高 800°C)
  • 最大加熱速度: 25°C/s(ノンコントロールフルパワー加熱)※室温から700°Cの範囲での平均加熱速度です。
  • 温度分布: ΔT=10°C  at 700°保持中
  • 雰囲気: 大気中、真空中、不活性ガス中
  • 試料サイズ: 20mm(W)×20mm(L)×2.0mm(t) MAX.
  • 温度制御センサー: JIS K熱電対
  • ランプ定格: 赤外線ランプ 100V 375W 4本使用
  • 標準保安項目: 制御熱電対断線、制御熱電対過昇温度、炉体表面温度異常、空冷ファン停止
  • 装置寸法: 360mm(W)×300mm(D)×310mm(H) (突起部分を除く)

ユーティリティ

  • 所要電源: AC100V 15A  アース付きコンセント
  • 装置重量: 21kg

初年度販売台数

120台

販売開始

2011年6月

■製品紹介ページ
空冷卓上型ランプ加熱装置「MILA-700AR」