赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
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ガス透過率測定装置 GTms-1シリーズ

ガスバリアフィルムは、食品、飲料水や薬品などの包装材や電子デバイスにおける封止材として広く利用されております。特に最近では、有機EL ディスプレイや電子ペーパーなどのフレキシブルデバイスにおいてハイバリア性を持つフィルムの需要が高まっております。しかしながら、ハイバリアフィルムに要求される~10-6g/㎡ /dayレベルの透過量を絶対数量として測定することは極めて困難です。
アドバンス理工は、国立研究開発法人産業技術総合研究所が開発しました標準コンダクタンスユニットを搭載することで、透過量の絶対値を高感度で測定出来るガス透過率測定装置をご提供いたします。

 

用途

以下の各種電子デバイスの封止フィルムのガス透過率の測定

  • 有機ELディスプレイや液晶ディスプレイ
  • 有機太陽電池やa-Si太陽電池 
  • 電子ペーパー
  • 食品、薬品、電子部品などの包装分野
  • 各種ガス(O2、N2、CO2、H2など)透過防止材料

特長

  • 標準コンダクタンスユニットの使用により絶対校正された測定値を出すことが出来ます。
  • 水蒸気の透過率で ~10-6g/ ㎡ /day レベル、酸素の透過率で ~10-2cc/ ㎡ /day レベルの測定が可能です。
  • 質量分析計を使用していますので、水蒸気の他に複数のガス種(O2、N2 など)の透過率計測が可能です。

仕様

試料数・寸法 1枚・φ120mm
測定温度範囲 40℃(標準)
但し、サンプルの耐熱温度まで測定可
最小測定感度 水蒸気: ~10-6g/ ㎡ /day レベル
酸 素: ~10-2cc/ ㎡ /day レベル
測定可能ガス 水蒸気、酸素、窒素等
ガス透過検出法 四重極質量分析計
真空排気系 ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ
装置寸法 W 1010 × D 688 × H 1680 (mm)
所要電源 AC 100 V 単相 約 3.0 kVA
所要接地 D種
圧空その他 ベント用窒素ガス、圧空

型式

型式 1CM 1CA 2CM 2CA
サンプル数(チャンバ数) 1 1 2 2
データ解析 手動 自動 手動 自動

測定原理

  1. 検量線の作製:サンプルが無い状態で標準コンダクタンスユニットを用いてガスを投入し、質量分析器を用いて、イオン電流値を測定します。これを何回か繰り返すことで、検量線を作製します。
  2. サンプル挿入:サンプルを入れて、試料チャンバー内をターボ分子ポンプにより超高真空状態まで排気します。
  3. ガスの導入と測定開始:超高真空状態になったら、試料チャンバーの上流側からガスを導入し、測定を開始します。試料を透過したガスのイオン電流値を質量分析器によって測定します。
  4. 透過量の解析:検量線を用いて、透過したガスのイオン電流値から透過量を求めます。

測定例

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