赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
製品案内

赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-Eシリーズ

赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。

用途

  • Si、化合物半導体のRTA
  • ガラス・セラミック基板のアニール炉
  • 金属の雰囲気焼鈍炉
  • 複合材料の耐熱評価炉
  • 高温引張・圧縮試験用加熱炉

特長

  • 楕円反射面を有し高温まで高速加熱することが可能

仕様

型式 加熱形態 最大
加熱温度 *1
加熱長
(発光長)
ランプ電圧 電力 炉冷却水量/水圧
RHL-E15LN 線状集光
- 140mm 100V 1.0kW 1.0 L/min・0.3Mpa
RHL-E15LP - 200V 1.2kW
RHL-E110LN - 265mm 200V 1.0kW 1.0 L/min・0.3Mpa
RHL-E110LP - 2.0kW
RHL-E25N 管状集光
1100℃ 140mm 100V 2.0kW 1.5 L/min・0.3Mpa
RHL-E25P 1300℃ 200V 2.4kW
RHL-E210N 1100℃ 265mm 200V 2.0kW 2.0 L/min・0.3Mpa
RHL-E210P 1300℃ 4.0kW
RHL-E216P 1300℃ 420mm 300V 6.0kW 3.0L/min・0.3Mpa
RHL-E42 管状集光
1100℃ 420mm 50V 2.0kW 1.5 L/min・0.3Mpa
RHL-E45N 1100℃ 140mm 100V 4.0kW 2.5 L/min・0.3Mpa
RHL-E45P 1400℃ 200V 4.8kW
RHL-E48 1400℃ 200mm 200V 6.4kW 3.5L/min・0.3Mpa
RHL-E410N 1100℃ 265mm 200V 4.0kW 4.0 L/min・0.3Mpa
RHL-E410P 1400℃ 8.0kW
RHL-E416 1400℃ 420mm 300V 12kW 5.0 L/min・0.3Mpa

*1 最大加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。

最大加熱速度試験

使用炉  E410P
サンプル W10×L50×T1(mm)
雰囲気  大気中
材質   SUS板

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