赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
製品案内

赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-Pシリーズ

赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。

用途

  • Si、化合物半導体のRTA
  • ガラス・セラミック基板のアニール炉
  • 金属の雰囲気焼鈍炉
  • 複合材料の耐熱評価炉
  • 高温引張・圧縮試験用加熱炉

特長

  • 放物反射面を有し平行赤外光により広い面積を均一に加熱することが可能。

仕様

型式 加熱形態 最大
加熱温度 *1
加熱長
(発光長)
ランプ電圧 電力 炉冷却水量/水圧
RHL-P44C 管状集光
1350℃ 100mm 100V 2.0kW 2.0L/min・0.3Mpa
RHL-P48C 1350℃ 200mm 200V 6.4kW 4.0L/min・0.3Mpa
RHL-P410C 1350℃ 265mm 200V 8.0kW 5.0L/min・0.3Mpa
RHL-P65CN 管状集光
900℃ 140mm 100V 6.0kW 4.0L/min・0.3Mpa
RHL-P65CP 1200℃ 200V 7.2kW
RHL-P68C 1200℃ 200mm 200V 9.6kW 5.0L/min・0.3Mpa
RHL-P610CN 900℃ 265mm 200V 6.0kW 6.0L/min・0.3Mpa
RHL-P610CP 1200℃ 12.0kW
RHL-P616C 1200℃ 420mm 300V 18.0kW 8.0L/min・0.3Mpa
RHL-P810CN 管状集光
900℃ 265mm 200V 16.0kW 7.0L/min・0.3Mpa
RHL-P810CP 1100℃
RHL-P816C 1100℃ 420mm 300V 24.0kW 8.0L/min・0.3Mpa
RHL-P1210CN 管状集光
900℃ 265mm 200V 24.0kW 8.0L/min・0.3Mpa
RHL-P1210CP 1000℃
RHL-P1216C 1000℃ 420mm 300V 36.0kW 10.0L/min・0.3Mpa
RHL-Ps35VN 平面放射
- 140mm 100V 3.0kW 2.0L/min・0.3Mpa
RHL-Ps35VP 200V 3.6kW
RHL-Ps310VN - 265mm 200V 3.0kW 3.0L/min・0.3Mpa
RHL-Ps310VP 6.0kW
RHL-Pss34V 高密度平面放射
- 100mm 200V 6.0kW 2.0L/min・0.3Mpa
RHL-Pss78V - 200mm 200V 12.8kW 5.0L/min・0.3Mpa
RHL-Pss1108V - 200mm 200V 17.6kW 8.0L/min・0.3Mpa

*1 最大加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。

最大加熱速度試験

使用炉  P610CP
サンプル W20×L50×T0.8(mm)
雰囲気  大気中
材質   SUS板

温度分布試験

使用炉  P610CN
サンプル W50×L100×T4(mm)
雰囲気  N2フロー中
材質   カーボン板

多段ステップ加熱試験

使用炉  P610CN
サンプル W50×L80×T0.5(mm)
雰囲気  N2ガス中
材質   SUS板

ガス種による冷却速度

使用炉  P610CP
サンプル W50×L80×T0.5(mm)
材質   SUS板
油量   10ℓ/分

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