赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
製品案内

赤外線ゴールドイメージ炉 VHT-Eシリーズ

赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。
高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。

用途

  • Si、化合物半導体のRTA
  • ガラス・セラミック基板のアニール炉
  • 金属の雰囲気焼鈍炉
  • 複合材料の耐熱評価炉
  • 高温引張・圧縮試験用加熱炉

特長

  • ハロゲンランプ加熱方式で最高1800℃までの加熱が可能。

仕様

型式 加熱形態 最大
加熱温度 *1
加熱長
(発光長)
ランプ電圧 電力 炉冷却水量/水圧
VHT-E14L 線状集光
- 100mm 200V 2.0kW 1.0L/min・0.3Mpa
VHT-E18L - 225mm 480V 6.0kW 2.0L/min・0.3Mpa
VHT-E44 管状集光
1700℃ 100mm 200V 8.0kW 4.0L/min・0.3Mpa
VHT-E48 1800℃ 225mm 480V 24.0kW 12.0L/min・0.3Mpa
VHT-E64 管状集光
1700℃ 100mm 200V 12.0kW 8.0L/min・0.3Mpa
VHT-E68 1800℃ 225mm 480V 36.0kW 18.0L/min・0.3Mpa

*1 最大加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。

超高温炉による最大加熱速度試験

使用炉  VHTーE68
サンプル φ12×L30(mm)
雰囲気  N2フロー中
材質   カーボン

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