热电特性评价装置 ZEM-5系列

该系列适用于各种热电材料和薄膜等特殊规格的特性。
随着热电材料的发展,各种材料都需要更高水平的评估。
该设备「热电表征设备ZEM-5系列」是一种性能评估设备,能够满足不同需要,规格专注于各种材料,包括高温、高电阻及薄膜。

用途

  • 半导体,陶瓷,金属等广泛材料的热电特性评价

特長

  • 适用于各种热电材料和薄膜等特殊规格的系列
  • 温度传感器采用C热电偶,是评估Si基热电材料(SiGe,MgSi等)的理想选择(HT型)
  • 标配自诊断欧姆接触的V/I图
  • 最高可测量1200°C(HT型)
  • 最高10MΩ的高电阻(HR型)
  • 能够测量沉积在衬底上的材料(TF型)
  • 可在-150°C至200°C之间进行温度控制(LT型)

专利和标准

热电能JIS R 1650-1
电阻率JIS R 1650-2

仕様

型式 ZEM-5HT ZEM-5HR ZEM-5LT ZEM-5TF
特性 高温型 高电阻型 低中温型 薄膜型
温度範囲 100℃〜1200℃ 100℃〜800℃ -150℃〜200℃ 50℃〜500℃
测量气氛 低压He气体中
样品尺寸 角2-4mm或φ2-4mm×长3-15mm 成膜基板:
宽2-4mm×厚0.4-1.2mm×长20mm
薄膜厚度:纳米级或更高
※在样品膜和衬底之间需要绝缘层。
热电偶 C热电偶 R型热电偶 K热电偶 R型热电偶
测量精度 塞贝克系数±7%
电阻率±7%(长5mm以下的试料不在对象范围内)

设备配置

  • 样品测量/控制/测量系统1台
  • 数据处理计算 公式(1)
  • 气氛调节装置1台

实用程序(HT型)

电源 1个AC200V 40A机身
2个PC AC100V 10A插座
冷却水 水压0.15 MPa, 流量5升/分钟
大气气体 减压氦气0.2 MPa(减压静态气氛)
机身占地面积 宽约750mm×深约900mm(放在桌面上)

塞贝克系数计算方法

在塞贝克系数的测量中,将温差改变3个以上,除去暗电动势求得。

设置和测量屏幕

温度设定画面
V/I绘图屏幕
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