卓上型ランプ加熱装置
MILA-5000シリーズ

MILA-5000シリーズは赤外線ランプ加熱炉です。放物面リフレクタの焦点に赤外線ランプを固定し、赤外光を平行反射させて試料を効率よく短時間で高温まで加熱します。

温度プログラム（PID制御）に沿った昇温・保持・降温の自動運転ができ、不活性ガス雰囲気や真空中での熱処理にも対応します。発熱体（ランプ）は石英管に封入されガス放出がない“クリーンな加熱”が特長です。

• 温度：常用 RT〜1000℃、最高 約1200℃
• P-F（均熱型）：常用 RT〜500℃、最高 約800℃
• 昇温速度：最大 約50℃/秒（ガスフロー型）〜約30℃/秒（均熱型）程度（熱電対・サセプタの種類により異なります）
• 試料サイズの目安：約22×22×5mm（石英管先端内径）

加熱方式は放物面反射赤外線ランプ方式です。

※1000℃超の長時間使用は石英部品の寿命を縮めます。
※真空中の加熱は900℃以下にしてください。ただし900℃以下でも石英部品の失透や汚れがあると、透明石英製チャンバが破損することがありますのでご注意ください。

大気のほか、不活性ガス雰囲気（純度99.999%以上推奨）でのガスフロー、真空型（P-N／UHV）では真空排気装置と組み合わせた真空中熱処理が可能です。

ガスフローユニット（最大3台）、真空排気装置、加熱状態観察系などをオプションで追加できます。

付属の専用ソフト「PROTEM2」（USB接続）で、温度プログラムやPID等の各種設定の編集・保存をPC上で行えます。

目標値・現在値などをリアルタイムに演算・モニタする「トレンドグラフ」機能もあり、データをファイル保存できます。温度プログラムは最大16本、PIDは最大8組まで登録できます。

いずれかのインターロック（IL）が作動しています。以下の項目を確認してください。

1. 冷却水インターロック（IL2／INTERLOCK2端子台）…冷却水供給を確認（フロースイッチ未購入時はショートピンで短絡しています）。
2. 背面AUX端子台…各種ILが正常か確認。
3. 過昇温設定値・熱電対の断線・試料移動フランジが開いていないかを確認。

※過昇温防止（AL1）作動時はHEATランプが消灯します。

装置前面のRESETボタン（温調器、RESETボタン（緑））を押すと加熱を停止できます。緊急停止が必要なときに使用します。

制御熱電対温度が「イベント1設定値」を超えると過昇温防止が作動して加熱が停止し、同時にアラームランプが点灯します。設定値を超えている間は加熱できません。

イベント1設定値（過昇温防止設定）を確認してください。

移動フランジが閉まっているか確認してください。それでも解消しない場合は制御熱電対が断線している可能性があります。熱電対を確認してください。

※断線時は温度測定・加熱ができません。

制御熱電対の種類設定（K＝黄黒／R＝赤黒）が正しいか、熱電対が正しく取り付いているかを確認してください。

設定値と現在値のズレはPIDオートチューニング（AT）で改善できます（→温度制御のFAQ参照）。

はい。オプションの加熱状態観察系（CCDカメラ＋マクロレンズ＋XYZ調整ステージ＋観察窓）で、加熱中の試料表面をモニタ・カラー観察できます。MILA本体の観察窓に設置します。

はい。専用ソフト「PROTEM2」のトレンドビュアグラフ機能で現在値などをリアルタイムにモニタし、データをファイル保存できます。

両ランプの点灯が運転開始条件です。冷却水供給と端子台の短絡状態を確認してください。フロースイッチ（オプション）未購入時はIL2・AUXがショートピンで短絡され常時点灯となります。

【注意】短絡済み状態では冷却水を供給しなくても加熱テストが始められますが、冷却水を供給せず加熱すると故障します。

裏面IL2端子部がショートピンで短絡されているか確認してください。フロースイッチユニット（オプション）追加時は、冷却水流量が設定値を超えているか確認してください。

裏面AUX端子部がショートピンで短絡されているか確認してください。インターロックを追加した場合はIL用ケーブルを正しく接続してください。

PIDオートチューニング（AT）を実行してください。実行時の目標値に対し最適なPID定数を自動設定し、ズレを解消できます。

PID値は最大8組（パターン）を個別設定でき、温度範囲や偏差・目標値に応じて自動切替もできます。各温度域でATを実行・設定してください。

セグメントごとに目標温度（SP）と実行時間（TIME）を設定して作成します。プログラムは最大16本保持でき、昇温・保持・降温をセグメントの組合せで作成します。

市水で流量4L/min以上・圧力0.3MPa以上、テフロンブレード継手φ11×φ6が標準です。

ナットの締め込み不足や締め忘れが原因です。手で締めた後モンキーレンチで最後まで締め込み、WATER OUTLET→WATER INLETの順で接続し、各ネジ締め部の締め忘れを確認してください。

【注意】接続作業前は必ず電源を切ってください。

取扱説明書の写真のとおりに取り付け直してください。

オプションの冷却水循環装置を使用できます（冷却能力2600W＠室温25℃、循環7L/min以上、電源 単相AC200V）。

真空型（P-N／UHV）に真空排気装置（オプション）を組み合わせます。真空引口は P-N／P-F＝KF-NW25、UHV＝ICF-70 です。

※排気ポンプ（ロータリーポンプ等）の手配はお客様にてお願いします。

Oリングおよび接触面の傷・汚れ、真空引きフランジ固定ネジの締め忘れ、ホース接続の緩みを確認してください（石英管・熱電対の交換後は特に注意）。ロータリーポンプのオイル状態も確認してください。

逆止弁（リリーフ弁）が内圧0.007MPa以上で作動しガスを逃がします。

試料からの汚染や素手で触れたことによる失透の可能性があります。交換・取り扱い時は必ずゴム手袋を着用し慎重に作業してください。

ゴム手袋を着用し、電源OFF後に作業します。

1. 裏面カバーを外す
2. 真空引きフランジ固定ネジをプラスドライバーで外す
3. 試料移動フランジ／ストッパーを外し引き出す
4. 石英管を前面より取り外し治具をゆっくり押し込み、後方側から引き出す

取付けは逆順で、Oリングに傷を付けないよう注意します。

ゴム手袋を着用して作業します。試料ホルダ→押え金・固定ネジの順に外して、古い熱電対を内側から押し出して除去し、新しい熱電対を挿入して逆順で取り付けます。

色（赤等）・ピン位置を取扱説明書の図と照合してください。

※Oリング及び接触面に傷を付けると真空漏れの原因になります。

ロータリーポンプのオイルレベルゲージ（のぞき窓）でオイル量とオイルの汚れを点検し、オイル漏れが無いことを点検してください。定期的にポンプ油を交換してください。

接続しないでください。装置用PCはウイルス常駐保護がされておらず、ネット接続は感染の危険、運転中のLAN接続は装置が不安定になり停止する恐れがあります。

インストールしないでください。装置用ソフトと競合し動作不良の原因になります。

ウイルスチェック済みの媒体のみ使用してください。運転中のデータ移動は行わないでください。

※感染時はOS再セットアップで全ソフト・測定データが消失する場合があります。

電源・アース・給排水口から所定範囲内に設置します。

D種接地（100Ω以下）の単独アースが必要です。アース未接続は感電の原因になります。

単相AC200Vです。P-N／UHVは約4kVA、P-F（均熱型）は約1kVA程度です（装置側端子盤はM4）。

工場（神奈川＝東日本）にて50Hz調整で出荷します。西日本でご使用の場合は60Hzに変更して出荷します。

【注意】東西をまたいで使用する場合は、事前に必ずメーカーへご連絡ください。

冷却水接続やメンテナンス（石英管・熱電対交換等）の作業前は必ず1次側の給電を遮断してください。

【警告】電気が流れた状態でのメンテナンスは絶対に行わないでください（感電の危険）。

保証期間は納入から1年です。以下は保証対象外となります。

• 取扱説明書記載外の取り扱い
• 指定外の特殊条件での使用
• メーカー以外による修理・改造
• 天災・災害等による損傷
• 消耗部品
• 納入後10年を超える修理・部品供給

指定事項（ネット接続禁止・ソフト追加禁止・要ウイルスチェック）を守らないことに起因する故障・不具合は、保証期間内でも有償修理（修理不能の場合あり）となります。

1. MFG.No.（8桁）
2. MODEL
3. DATE
4. 熱電対の種類（K＝黄黒／R＝赤黒）
5. 異常の内容・症状

※1〜3は装置前面または背面のMFG.No.シールに記載されています。

アドバンス理工株式会社までお問い合わせください。

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