赤外線ゴールドイメージ炉/RTA装置

高速加熱・高速冷却での熱処理。温度の立ち上がりが早く、処理速度は格段!ランプアニールも可能。

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    • 熱処理試験

    卓上型ランプ加熱装置 MILA-5050

    本装置は、試料寸法50mm 角までの熱処理を可能とした卓上型ランプ加熱装置です。 試料寸法20mm 角までの加熱装置として、卓上…

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    赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-E/VHT/Pシリーズ

    赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。赤外線ゴールドイメージ炉は、研究開発や生産装置としてさまざまな分野で…

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    • 熱処理試験

    卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000シリーズ

    MILA-5000シリーズは赤外線ゴールドイメージ炉の特長である高速加熱・冷却、クリーン加熱が行なえます。自在な雰囲気下で加熱す…

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    赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ

    保持まで10秒!赤外線ランプ加熱で2インチから300mmまでの高速熱処理赤外線ランプ加熱は、高エネルギー密度、近赤外線、高熱…

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    超高温ランプアニール装置 HT-RTA59HD

    小片試料を1800℃まで10秒で昇温SiCなど高価な試料やその他高融点材料の小片試料をスポット加熱による高い反射効率で、超高温…

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    赤外線ランプ加熱装置 RTP-6

    低コストで80℃/sの高速アニールが可能。本装置は、放物面反射赤外線ランプにより、4-6インチサイズのウエハを均一に加熱する…

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    雰囲気可変型ランプ加熱装置 QHCシリーズ/VHCシリーズ

    太陽電池/化合物半導体等のプロセス開発や様々なアプリケーションとセットアップが可能。QHC・VHCシリーズは赤外線ゴールドイ…

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    スポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉 シリーズ

    スポット集光で超高温熱処理。回転楕円反射面をもち、シングル又はダブルタイプのチャンバと組合せることにより、極めて高い…

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    空冷卓上型ランプ加熱装置 MILA-700AR

    冷却水を使わない卓上型ランプ加熱装置。冷却は空冷ファン採用なので、壁コンセント(AC100V)さえ有れば直ちに加熱が出来ま…

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    プログラム温度コントローラー TPC-5000シリーズ

    高速加熱に精度よく対応可能な温調器。高速昇温時の早いレスポンスが要求される赤外線ゴールドイメージ炉はもとより低速昇温…