赤外線ゴールドイメージ炉/RTA装置
ランプ加熱は高速加熱・高速冷却。格段の処理速度！
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赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-E/VHT/Pシリーズ
赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。大小様々な対象物の加熱で研究開発や生産装置、さまざまな分野でご利用い…
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卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000シリーズ
MILA-5000シリーズは赤外線ゴールドイメージ炉の特長である高速加熱･冷却､クリーン加熱が行なえます｡自在な雰囲気下で加熱す…
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赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ
目標温度まで10秒！弊社の赤外線ランプ加熱は、高エネルギー密度、近赤外線、高熱応答性、温度制御性、真空によるクリーン加…
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雰囲気可変型ランプ加熱装置 QHCシリーズ/VHCシリーズ
太陽電池/化合物半導体等のプロセス開発や様々なアプリケーションとセットアップが可能。QHC・VHCシリーズは赤外線ゴールドイ…
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赤外線ランプ加熱装置 RTP-6
低コストで80℃/sの高速アニールが可能。本装置は、放物面反射赤外線ランプにより、4-6インチサイズのウエハを均一に加熱する…
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プログラム温度コントローラー TPC-5000シリーズ
高速加熱に精度よく対応可能な温調器。高速昇温時の早いレスポンスが要求される赤外線ゴールドイメージ炉はもとより低速昇温…
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超高温ランプアニール装置 HT-RTA59HD
小片試料を1800℃まで10秒で昇温SiCなど高価な試料やその他高融点材料の小片試料をスポット加熱による高い反射効率で、超高温…
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簡易型赤外線ランプ加熱装置 SSAシリーズ
赤外線ゴールドイメージ炉と石英チャンバの簡易型装置。赤外線ゴールドイメージ炉及び試料ホルダを含んだ石英チャンバから構…
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スポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉 MIROシリーズ
スポット集光で超高温熱処理。回転楕円反射面をもち、シングル又はダブルタイプのチャンバと組合せることにより、極めて高い…
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空冷卓上型ランプ加熱装置 MILA-700AR
冷却水を使わない卓上型ランプ加熱装置。冷却は空冷ファン採用なので、壁コンセント（AC100V）さえ有れば直ちに加熱が出来ま…
