日々、ご使用後の装置点検を行う事で、装置の状態を把握し、重大な故障を防ぐ事で装置の寿命を延ばす事に繋がります。
- 冷却水を使用する装置
装置使用後は水抜きをして、エアブロー等で冷却水流路内部に水が残らない様にして下さい。
冷却水流路内部が腐食し、水詰り発生のリスクが高くなります。 - 石英部品を使用している装置
石英試料ホルダ、石英保護管等の石英部品を使用している場合、試料から出た付着物をエタノール等を使用してキレイに拭き取ってください。汚れたまま使用すると、失透の原因になります。 - 試料からの吸着物、蒸着物について
石英保護管や真空配管内部に付着した物質については、エタノールで拭き取りキレイにして下さい。
エタノールで落ちない付着物に関しては洗浄業者に依頼し洗浄する事をお勧めします。カーボン系の付着物の場合は空焼きをする事により落とせる場合もあります。 汚れたまま使用する事で
・不純物の混入
・真空排気装置の故障
・石英部品の失透
等が発生するリスクがあります。
