対象装置

点検のメリット

1. 装置の停止期間短縮
   装置故障や長納期部品故障を未然に予測し、修理対応までの装置停止期間を短縮できます。 石英・サセプタ部品の長納期化に伴い、予備保管をお勧めします。
2. 装置性能の改善
   装置内部が汚れていると、本来の性能を発揮できません。 内部の清掃、汚れた部品の交換をお勧めします。
3. 製造メーカ点検による故障予測
   製造メーカしか把握できない部品の劣化を把握することで故障前の予防保全が図れます。

点検内容

①温度分布測定
長期使用により温度分布のズレが発生します。年次点検を行う事で装置の故障を未然に防ぐことが可能です。
点検作業員が、TC付ウエハを持参し、現地で測定を行ないます。

②水回り点検
水詰りによる設備異常を事前に修繕する事をお勧めします。
点検作業員が、流量確認用の治具を用いて、冷却水の水詰り確認を行います。

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