対象装置

TCシリーズ

点検内容

• レーザー光軸及びパターン点検
• 非接触センサー点検調整
• 形状補正
• 真空排気系動作確認
• システム全体の動作確認
• 標準試料測定による校正

※点検後、報告書を提出させていただきます。

点検フロー

※点検時に別の装置不具合や破損部品等が見つかった場合は、別途お見積りをさせて頂きます。また作業中断をさせて頂く場合もございます。

CS（カスタマーサービス）について