推奨点検のご案内「赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ」

対象装置

RTAシリーズ

装置写真：RTA-4000 — RTA-4000 CtoC

点検のメリット

停止期間短縮
装置故障や長納期部品故障を未然に予測し、修理対応までの装置停止期間を短縮できます。故障を未然に確認する事で、重大故障に行き着く前に予防できます。
装置性能の改善
装置内部が汚れている状態だと、本来の性能を発揮できません。
内部の清掃、汚れた部品の交換をすることで、購入時に近い性能を再び発揮できるようになります。
装置の延命
装置が劣化している状態で無理に使い続けると、装置の故障や事故の原因になります。
製造メーカ点検による故障予測
製造メーカしか把握できない部品の劣化を把握することで故障前の予防保全が図れます。

点検内容

①温度分布測定
長期使用により温度分布のズレが発生します。年次点検を行う事で装置の故障を未然に防ぐことが可能です。
点検作業員が、TC付ウエハを持参し、現地で測定を行ないます。

温度分布測定

測定例：RTP-6による800℃　N2ガス中の温度分布データ

TC付ウエハをセットした状態

TC付ウエハをセットした状態

②水回り点検
水詰りによる設備異常を事前に修繕する事をお勧めします。
点検作業員が、流量確認用の治具を用いて、冷却水の水詰り確認を行います。

各流路の冷却水ホースに取り付けて確認します。部分的な水詰りの発見が可能です。

点検項目表

装置加熱室
No.	点検項目	点検内容	使用を継続して考えられる不具合	6ヶ月毎	1年毎	3年毎
1	石英窓板交換	汚れがある場合	ランプ負荷がかかりランプ寿命が短くなる		○	○
2	石英窓Oリング交換	変形劣化	真空漏れガス漏れ等		○	○
3	窓クッション交換	収縮又は、変形した場合	クッションの収縮、変形により真空漏れ、ガス漏れ		○	○
4	ランプ交換	フィラメントの変形、失透又は1500時間	ランプ断線、損傷（推奨800時間）			○
5	パイロ窓交換	汚れがある場合	制御温度差が大きくなり生産等に影響			○
6	熱電対交換	断線が発生した場合	断線		○	○
7	試料ホルダ、サセプター交換	汚れ、欠け等がある場合	温度分布が悪くなる又は、コンタミの発生により生産に影響	○	○	○
8	リフレクタ清掃	汚れ等がある場合	温度分布不具合、ランプの寿命が短くなる		○	○

装置制御系
No.	点検項目	点検内容	使用を継続して考えられる不具合	6ヶ月毎	1年毎	3年毎
9	インターロック確認	インターロック解除不能時	頻繁にインターロックが発報して生産等に影響		○
10	シーケンサバッテリ交換	1年以上使用済みのバッテリ	10日程度装置電源 OFF でアラーム発報		○
11	タッチパネルバッテリ交換	1年以上使用済みのバッテリ	10日程度装置電源 OFF でアラーム発報		○
12	リレー交換	故障時又は目視にて焼けがある場合	生産等に影響			○

搬送ロボット
No.	点検項目	点検内容	使用を継続して考えられる不具合	6ヶ月毎	1年毎	3年毎
13	オーバーホール（外注）	メーカーによる故障判断の場合	搬送エラー等のインターロックが発報して生産等に影響			○
装置冷却室
No.	点検項目	点検内容	使用を継続して考えられる不具合	6ヶ月毎	1年毎	3年毎
14	シリンダー点検	移動距離1万㎞又は3年又はメーカー故障判断	受注生産のため生産等に影響			○
15	シャフト、ベアリング交換	ガタや振動がある場合	搬送エラーなどによる生産等に影響			○

冷却水循環器
No.	点検項目	点検内容	使用を継続して考えられる不具合	6ヶ月毎	1年毎	3年毎
16	冷却水交換	汚れある場合	装置の水詰まり、フローメータの動作不良	○	○	○
17	メカニカルシール交換（外注）	漏れ発生時	冷却水循環器からの水漏れ		○	○
18	ホース交換	目視にて劣化や傷がある場合	ホース破裂、水漏れ		○	○
19	ストレーナ清掃	チラー圧力上昇又は詰まりがある場合	圧力上昇による冷却水循環器のアラーム警報発報	○	○	○
20	メーカ点検（外注）				○	○

CS（カスタマーサービス）について