薄膜コーティング・ナノ粒子コーティングの分析装置一覧

パルスアークプラズマ放電(APD法)により、真空中で基板や粉体に金属ナノ粒子を形成することが可能です。（乾式）ナノオーダーの膜厚制御、ナノ粒子の粒径制御、複数元素(6元素まで可)の蒸着によるナノ粒子の合金化まで、他の蒸着法では得られない効果が期待できます。各種触媒の活性や金属コーティング、ナノ粒子の精密合成や用途は多数あります。Alのような軽金属からランタノイド等の重金属迄、30種類以上の元素の蒸着が可能です。

アークプラズマ法ナノ粒子形成装置 APDシリーズ
パルス真空アーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する唯一の手法です。……