超高精度激光热膨胀仪
SuperLIX
1×10-8/K以下的膨胀精度的世界
世界上最高的超高精度热膨胀测量 *作为市售量产型测量装置
使用案例
- 零膨胀材料的研制
- 负极负热膨胀材料的研制
- 标准材料开发
- 致动器材料的开发
用途
- 10-8/K级极低膨胀系数材料（玻璃，陶瓷，金属等）的高精度膨胀测量
-半导体生产装置光学曝光元件的测量
-测量精密载物台零件
-航空航天相关高精度所需材料的测量
-高精度光图基板构件的测量 - 低膨胀系数材料的质量控制
特長
- 通过在设备中包括振动消除机构，可以防止振动扰动的影响，并且可以在能够稳定使用普通电子天平（0.01毫克分辨率）进行分析的环境中进行测量。（日本特愿2016-058190、058191、058192）
- 测量样品相对于激光波长（632.8 nm）的位移量。集成光学元件可以消除杂散光，提高干涉条纹信号的信噪比。不需要特殊位移校准的测量和操作。
- 通过用图像传感器检测干涉条纹并对其进行图像处理，即使在样品测量过程中，也可以以高分辨率（1纳米）计算位移（膨胀/收缩）量，并确认膨胀系数。
仕様
| 型式 | SuperLIX-R |
|---|---|
| 温度范围 | 标准5-50°C（采用高精度恒温循环系统） |
| 样品尺寸 | φ5或角5±0.5 mm×12-20 mm长 （标准样品尺寸为5×20mmL，端面R加工为标准样品） |
| 测量气氛 | 减压He气氛 |
| 测量方法 | 双光路迈克尔逊激光干涉系统 |
实用程序
| 占地面积 | 约1200mm(W)×760mm(D)×1600mm(H) ※拆除腔室时需要超过2500mm(H)的空间 |
|---|---|
| 所需电源 |
PC（显示器、机身）：2个AC100V 15A（插座，接地） 排气系统 ：AC200V 三相15A 1 个地方 气体导入系统 ：1个AC100V单相15A 恒温水循环器 ：1个AC100V 15A（插座，接地） |
| 所需接地 | 1个D型（接地电阻100欧姆或更低） |
测量示例
专利和标准
符合JIS R3251-1990标准
特愿2016-058190、058191、058192
