超高精度レーザ熱膨張計 SuperLIX

1×10-8/K以下の膨張精度の世界へ

世界最高峰の超高精度熱膨張測定 ※市販量産型計測装置として

用途事例

  • ゼロ膨張材料の開発
  • 負極負熱膨張材料の開発
  • 標準材料の開発
  • アクチュエータ材料の開発

本装置は、直線偏向型He-Neレーザによる二重光路式マイケルソン型干渉計を用いた高感度熱膨張計で、装置内部に除振メカニズムを内包することで、振動外乱の影響を防ぐ機能を有しています。そのため一般的な分析用電子天秤(分解能0.01mg)を安定使用出来る程度の環境で、熱膨張係数を1×10-8/K以下の精度で測定することが出来ます。低膨張率材料の熱膨張率の絶対測定やそれらの材料開発支援、生産ラインにおける品質管理にもご利用いただけます。

二重光路マイケルソンレーザ光干渉法を用いた熱膨張計のLIXシリーズは、熱膨張係数の絶対値を測定できる業界唯一の市販モデルです。
本測定法は、低膨張ガラスの熱膨張率測定方法のJIS(JIS R3251-1990)に準拠しています。

用途

  • 10-8/Kレベルの極低膨張率材料(ガラス、セラミックス、金属等)の高精度膨張測定
    -半導体生産装置の光学露光部品の測定
    -精密ステージ部品の測定
    -航空宇宙関係高精度要求材料の測定
    -高精度フォトグラム基板用部材の測定
  • 低膨張率材料の品質管理
  • 標準熱膨張計の校正試料の測定

特長

  • 装置内部に除振メカニズムを内包することで、振動外乱の影響を防ぐことが出来、一般的な分析用電子天秤(分解能0.01mg)を安定使用出来る程度の環境で測定することが可能です。(特願2016-058190、058191、058192)
  • レーザ波長(632.8nm)を基準にして、試料の変位量を測定します。光学素子を一体化することで迷光を排除することができ、干渉縞信号のS/N比が向上しています。特別な変位較正のための測定や操作は不要です。
  • 干渉縞をイメージ・センサーで検出し、画像処理することにより、試料測定中においても変位(膨張・収縮)量を高分解能(1nm)で算出し、膨張率の確認が出来ます。

特許や規格

JIS R3251-1990に準拠
特願2016-058190、058191、058192

仕様

型式 SuperLIX-R
温度範囲 標準型0~50℃(高精度恒温循環システム使用)
試料寸法 φ5又は□5±0.5mm×長さ12~20mm
(標準試料寸法 φ5×20mmL、標準的な試料として端面R加工)
測定雰囲気 減圧He雰囲気
測定方法 二重光路式マイケルソン型レーザ干渉方式

ユーティリティ

設置床面積 約1200㎜(W)×760㎜(D)×1600mm(H)
※チャンバー取り外し時 2500mm(H)以上スペースが必要です
所要電源 PC(モニタ、本体): AC100V 15A(コンセント、アース付) 2ヶ所
排気系       : AC200V 三相 15A 1ヶ所
ガス導入系     : AC100V 単相 15A 1ヶ所
恒温水循環器    : AC100V 15A(コンセント、アース付) 1ヶ所
所要接地 D種(接地抵抗100Ω以下) 1ヶ所

測定例


低膨張セラミックスの測定例

金属(スーパーインバー)の測定例
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