ナノ粒子蒸着の装置一覧
パルスアークプラズマ放電(APD法)により、真空中で基板や粉体に金属ナノ粒子を形成することが可能です。（乾式）ナノオーダーの膜厚制御、ナノ粒子の粒径制御、複数元素(6元素まで可)の蒸着によるナノ粒子の合金化まで、他の蒸着法では得られない効果が期待できます。各種触媒の活性や金属コーティング、ナノ粒子の精密合成や用途は多数あります。
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アークプラズマ蒸着源 APS-1異なる「ターゲット」を同時に蒸着。 本蒸着源を既存のアークプラズマ法ナノ粒子形成装置APD シリーズやお手持ちの真空チャンバに増設することで、異なる「ターゲット……
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アークプラズマ法ナノ粒子形成装置 APDシリーズパルス真空アーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置 パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する唯一の手法です。……