对于高导热膜，亚微米薄膜的测量也是可能的。
用途
- CVD金刚石，氮化铝等高热导率薄板（厚度<500μm）的热扩散系数/热导率测量
- 铜、镍、不锈钢等各种金属薄板（厚度>5μm）的热扩散率/热导率测量
- 玻璃和树脂材料等低热导率薄板材料（厚度<500μm）的热扩散率/热导率测量
- 具有各向异性的高热导率石墨片（厚度）<100μm)、聚合物薄膜，如聚酰亚胺和PET（厚度>5μm）的热扩散率/热传导率测量
- 在玻璃基板（厚度为30μm）上形成的氮化铝薄膜和氧化铝薄膜（厚度为100-300nm）的热导率测量
- 玻璃基板（厚度0.03 mm）上形成的DLC薄膜（厚度>1μm）的热导率测量
- PET基片（厚度0.1 mm）上形成的有机染料薄膜（厚度100～300 nm）的热导率测量
- 溅射用各种靶材的评价
*测量条件随材料和物理性质值而变化。记载的条件是目标。
特長
- 从金刚石到聚合物的宽范围薄板材料的面内方向热扩散系数测量
- 适用于厚度为3至500μm的自支撑片材、薄膜、线材和纤维等多种材料形式
- 可以通过差示法测量在衬底上形成的100nm至1000nm厚的薄膜的热导率 *仅在室温下
- 易于测量
- 通过专用软件进行控制、测量和分析
- 机身将所有光学、控制、测量系统紧凑地一体化
仕様
| 型式 | LaserPIT-R | LaserPIT-M2 |
|---|---|---|
| 温度范围 | RT | RT ～ 200℃ |
| 交流电源 | 激光二极管（685nm，30mW） | |
| 样品尺寸 | 自支撑薄板:宽2.5-5mm×长30mm×3-500μm厚 基片上的薄膜:宽2.5至5mm×长30mm×厚100nm至1000nm |
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| 测量周期 | 0.05 ～ 10/s | |
| 原理图 | 真空中 | |
原理图
配置
薄膜热导率的测量方法（示差法）
LaserPIT使用玻璃基板来测量薄膜的热导率。通过只在1个玻璃基板的半表面成膜薄膜的方法，测量玻璃基板的成膜区域和非成膜区域。
根据“两个区域的测量结果”“玻璃基板的厚度和体积比热容”“薄膜的厚度和体积比热容”来评估薄膜的热导率。
