热膨胀的测量方法有推杆法，光干涉法，长焦测长法，电容法等。
采用双光路迈克尔逊激光干涉法，实现了最高精度的测量。
采用零摩擦平移反射镜，只需对样品端面进行球面加工，即可轻松进行测量。
此外，使用可选的石英间隔物，可以在温度变化的同时测量低膨胀膜所需的厚度方向。双光路迈克尔森激光干涉法热膨胀仪LIX-2是业界唯一的市售模式。
用途
- 有机薄膜厚度方向膨胀测量
- 低膨胀玻璃的高精度膨胀测量
- 低膨胀金属材料的质量控制测量
- 密封材料膨胀测量
- 各种电子部件的精密热膨胀测量
- 标准热膨胀仪校准样品的测量
特長
- 平行移动样品架可实现稳定的测量
- 读取分辨率为1 nm的超精密测量
- 如果使用石英试料，还可以测量厚度为50~500μm的薄膜、薄板的厚度方向
专利和标准
符合JIS R 3251-1995的平行移动样品架（专利）仕様
| 型式 | LIX-2M | LIX-2L |
|---|---|---|
| 温度范围 | RT ～ 700℃ | -150 ～ 200℃ |
| 样品尺寸 | φ3～6mm×长度10～15mm长度方向的两端为球面精加工 | |
| 测量气氛 | ➀真空中 ➁低压高纯度He气体中 | |
| 测量方法 | 双光路迈克尔逊型激光干涉系统 | |
测量原理
实用程序
| 占地面积 | 本体约W2000 mm×D800 mm |
|---|---|
| 所需电源 | 两个AC100V 15A插座接地 |
| 所需接地 | D型（接地电阻100Ω以下） |
| 冷却水 | 市水或蒸馏水≥3L/min，压力≥0.15 MPa |
测量示例
零膨胀玻璃的测量结果
*在±150°C的温度范围内，热膨胀系数为10-8/K。
