レーザ熱膨張計 LIX-2シリーズ

低膨張フィルム・有機フィルムの厚さ方向、低膨張ガラス・金属等の微小熱膨張が最小分解能1nmで検出可能。
熱膨張の測定法は、押し棒式、光干渉法、望遠測長法、キャパシタ法などがあります。
最も高精度測定が可能とされている二重光路マイケルソンレーザ光干渉法を採用しています。
ゼロ摩擦平行移動ミラーの採用により、試料端面を球面加工するだけで簡単に測定することができます。
また、オプションの石英スペーサを使用して、低膨張フィルムに求められる厚さ方向の測定を温度可変しながら、測定することができます。二重光路マイケルソンレーザ光干渉法熱膨張計LIX-2 は、業界唯一の市販モデルです。

用途

  • 有機フィルムの厚さ方向膨張測定
  • 低膨張ガラスの高精度膨張測定
  • 低膨張金属材料の品質管理測定
  • 封止材の膨張測定
  • 各種電子部材の精密熱膨張測定
  • 標準熱膨張計の校正試料の測定

特長

  • 平行移動式試料ホルダにより安定した測定が可能
  • 読み取り分解能1nm の超精密測定
  • 石英試料を用いれば、厚さ50 ~ 500μmのフィルム、薄板の厚さ方向の測定も可能

特許や規格

JISR3251-1995に準拠 平行移動式試料ホルダ(特許)

仕様

型式 LIX-2M LIX-2L
温度範囲 RT ~ 700℃ -150 ~ 200℃
試料寸法 φ3~6㎜×長さ10㎜~15㎜ 長さ方向の両端は球面仕上げ
測定雰囲気 ➀真空中 ➁低圧高純度Heガス中
測定方法 二重光路マイケルソン型レーザ光干渉方式

測定原理

ユーティリティ

設置床面積 本体 約 W2000㎜ × D800㎜
所要電源 本体 AC100V 15A(コンセント、アース付)2ヶ所
所要接地 D種(接地抵抗100Ω以下)
冷却水 市水、又は蒸留水 3L/min 以上、圧力 0.15 MPa 以上

測定例

ゼロ膨張ガラスの測定結果

*いずれも、±150℃の範囲内で、熱膨張係数10-8/Kの評価ができている。

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