激光热膨胀仪 LIX-2系列

以1纳米的最小分辨率检测低膨胀膜和有机膜的厚度方向以及低膨胀玻璃和金属的微小热膨胀。
热膨胀的测量方法有推杆法,光干涉法,长焦测长法,电容法等。
采用双光路迈克尔逊激光干涉法,实现了最高精度的测量。
采用零摩擦平移反射镜,只需对样品端面进行球面加工,即可轻松进行测量。
此外,使用可选的石英间隔物,可以在温度变化的同时测量低膨胀膜所需的厚度方向。双光路迈克尔森激光干涉法热膨胀仪LIX-2是业界唯一的市售模式。

用途

  • 有机薄膜厚度方向膨胀测量
  • 低膨胀玻璃的高精度膨胀测量
  • 低膨胀金属材料的质量控制测量
  • 密封材料膨胀测量
  • 各种电子部件的精密热膨胀测量
  • 标准热膨胀仪校准样品的测量

特長

  • 平行移动样品架可实现稳定的测量
  • 读取分辨率为1 nm的超精密测量
  • 如果使用石英试料,还可以测量厚度为50~500μm的薄膜、薄板的厚度方向

专利和标准

符合JIS R 3251-1995的平行移动样品架(专利)

仕様

型式 LIX-2M LIX-2L
温度范围 RT ~ 700℃ -150 ~ 200℃
样品尺寸 φ3~6mm×长度10~15mm长度方向的两端为球面精加工
测量气氛 ➀真空中 ➁低压高纯度He气体中
测量方法 双光路迈克尔逊型激光干涉系统

测量原理

实用程序

占地面积 本体约W2000 mm×D800 mm
所需电源 两个AC100V 15A插座接地
所需接地 D型(接地电阻100Ω以下)
冷却水 市水或蒸馏水≥3L/min,压力≥0.15 MPa

测量示例

零膨胀玻璃的测量结果

*在±150°C的温度范围内,热膨胀系数为10-8/K。

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