纳米颗粒形成装置
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电弧等离子体气相沉积源 APS-1
同时蒸镀不同的“目标”。通过在现有的APD系列电弧等离子体纳米粒子形成装置和现有的真空室中增加气相沉积源，可以同时气相沉积…
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电弧等离子体法纳米粒子形成装置 APD系列
利用脉冲真空电弧放电形成纳米粒子的新型装置脉冲真空电弧气相沉积是通过简单工艺产生金属离子以形成超薄膜和纳米粒子的唯一…
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