MILA-5050 桌面型快速退火炉(2inch)

Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉,可用于处理φ50mm以内的样品。
用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对大尺寸样品处理需求,Advance Riko在Mila-5000的基础上推出可处理φ50mm样品的MILA-5050。MILA-5050延续了MILA5000的紧凑设计,是一款集成加热炉,加热腔及温控器与一体的桌面型快速退火炉。

用途

  • 硅片和复合圆晶的快速退火
  • 电子材料的快速热退火,例如光学CVD的基板
  • 玻璃基板,陶瓷和复合材料等的热处理
  • 热循环测试
  • 金属材料的热退火
  • 涂膜的耐热性评估
  • 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

  • 可对φ50mm以内的样品进行热处理
  • 最高热处理温度1200℃
  • 集成加热炉,加热腔及温控器与一体的桌面型设计
  • 搭配水冷循环腔体,可进行洁净的快速升降温。
  • 通过USB连接,可将温控程序输入到电脑
  • 加热过程中可通过电脑监测温度数据;

仕様

控温范围 RT ~ 1200 °C
升温速率 50 °C/s
样品尺寸 □ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
气氛 真空,流动气氛

* 可选配件:真空泵
* 加热温度or升温速率根据被加热样品的红外反射率,吸收率,热容和材料而变化。

均匀性测试

  • ① 500℃,Δt = 3.2℃
  • ② 800℃,Δt = 0.6℃
  • ③ 1000℃,Δt = 4.2℃
  • ④ 1200℃,Δt = 2.6℃

样品安装(2英寸样品)

可选配件:SiC包覆的石墨样品台 , 石英样品支架

安装需求

电源 AC200V , 5kW
冷却水 流速≥ 6L/minn
水压≥0.3Mpa
外形尺寸 450(W) x 492(D) x 219(H) mm (不包含突出部分)
重量 约 24kg

可选配件

  • SiC包覆的石墨样品台
  • 真空泵 (旋转真空泵,干式真空泵,分子泵)
  • 转子流量控制计
  • 冷却水流量控制器
  • 止回阀(泄压阀)
  • 电源线,冷却水管
  • 冷却水循环机
  • 手提点焊机 HS-9000
  • 手提弧焊机HA-1H

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