HT-RTA59HD是一款桌面型的超高温点聚型快速退火炉,可在10s内将样品的温度升至1800℃。
用途
- 碳化硅(功率器件)氧化膜形成与活化
- 高熔点材料热处理炉
- 烧结烘烤炉
- 局部加热冲击试验炉
- 晶体生长试验炉(区域熔化)
特長
- 只需10秒钟即可将一小块样品(□15 mm)加热到1800°C(超高温区)
- 采用具有高反射效率的大功率点聚型金面反射炉
- 台式紧凑型设计
- 红外灯加热方法可实现清洁加热,以最大程度减少粉尘和气体的产生
- 它可以轻松地从PC输入外部信号或温度程序设置,并在显示器显示加热期间温度数据。
仕様
控温范围 | RT ~ 1800 °C |
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样品尺寸 | □15 × t1 (mm) |
加热气氛 | 各种流动气氛 |
热电偶 | φ 0.3 mm B型热电偶 (W-Re 型热电偶可选) |
- ❶ 灯泡冷却空气进气口
- ❷ 气体出口
- ❸ N2 进气口
- ❹ Ar进气口
- ❺ 灯
- ❻ 石英保护管
- ❼ 石英支架
- ❽ 滑轨,手动将样品移入-移出炉体
加热醒醒
最高可达温度
功率: 7KW(最大)热电偶:W-Re型热电偶
加热气氛:N2流 1L/min
达到温度:2157℃(约200℃/s加热到2000℃)
快速加热控制
温度程序:200℃/s保持时间5min加热气氛:N2流 100cc/min(mm)(Please check)
样品架:高纯碳
样品台:高纯碳
样品架与样品台
安装条件
电源 | AC 200V, 单相 8kW |
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冷却水 | 0.3MPa 约 5L/min |
灯管冷却气体 | 约 200L/min的干燥压缩空气 |
外形尺寸 (mm) | 约W410 x D450 x H840 (不包含凸出部分) |
重量 | 约 45kg |
可选配件
- 真空泵 (旋转真空泵,干式真空泵,分子泵)
- 排气系统
- 冷却水循环机
- 空压机
- 手提点焊机 HS-9000
- 手提弧焊机HA-1H