HT-RTA59HD 超高温快速退火系统

10s内可将样品加热到1800℃
HT-RTA59HD是一款桌面型的超高温点聚型快速退火炉,可在10s内将样品的温度升至1800℃。

用途

  • 碳化硅(功率器件)氧化膜形成与活化
  • 高熔点材料热处理炉
  • 烧结烘烤炉
  • 局部加热冲击试验炉
  • 晶体生长试验炉(区域熔化)

特長

  • 只需10秒钟即可将一小块样品(□15 mm)加热到1800°C(超高温区)
  • 采用具有高反射效率的大功率点聚型金面反射炉
  • 台式紧凑型设计
  • 红外灯加热方法可实现清洁加热,以最大程度减少粉尘和气体的产生
  • 它可以轻松地从PC输入外部信号或温度程序设置,并在显示器显示加热期间温度数据。

仕様

控温范围 RT ~ 1800 °C
样品尺寸 □15 × t1 (mm)
加热气氛 各种流动气氛
热电偶 φ 0.3 mm B型热电偶 (W-Re 型热电偶可选)
System diagram
  • 灯泡冷却空气进气口
  • 气体出口
  • N2 进气口
  • Ar进气口
  • 石英保护管
  • 石英支架
  • 滑轨,手动将样品移入-移出炉体

加热醒醒

最高可达温度

功率: 7KW(最大)
热电偶:W-Re型热电偶
加热气氛:N2流 1L/min
达到温度:2157℃(约200℃/s加热到2000℃)

快速加热控制

温度程序:200℃/s保持时间5min
加热气氛:N2流 100cc/min(mm)(Please check)
样品架:高纯碳
样品台:高纯碳

样品架与样品台

安装条件

电源 AC 200V, 单相 8kW
冷却水 0.3MPa 约 5L/min
灯管冷却气体 约 200L/min的干燥压缩空气
外形尺寸 (mm) 约W410 x D450 x H840 (不包含凸出部分)
重量 约 45kg

可选配件

  • 真空泵 (旋转真空泵,干式真空泵,分子泵)
  • 排气系统
  • 冷却水循环机
  • 空压机
  • 手提点焊机 HS-9000
  • 手提弧焊机HA-1H

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