MILA-700AR 风冷桌面型快速退火炉

用途

  • 晶圆，复合晶圆的快速加热
  • 光化学气相沉积衬底加热
  • 热循环测试
  • 涂膜的耐热性评估
  • 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

  • 50°C / s快加热
  • 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热
  • 精确的温度控制
  • 紧凑的台式设计

仕様

控温范围 RT ～ 700 °C
样品尺寸 □ 或φ20mm x 2mm （T）
加热气氛 真空，静态气氛，流动气氛，空气
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