SSA 系列简易红外金面退火炉

SSA系列是一款经济型红外金面退火炉系统。
该系统搭配了红外金面炉,样品支架以及用于气氛控制的石英腔。

用途

  • 半导体化合物合金化
  • Si,半导体化合物的快速退火
  • 陶瓷基底薄膜材料的烘焙
  • 玻璃陶瓷基底的退火

特長

  • 流动气氛与真空石英腔可选(标配流动气氛)
  • 可选配同时兼具流动气氛与真空功能的石英腔
  • 通过USB连接,可将温控程序输入到电脑
  • 加热期间可以通过电脑监测温度数据

仕様

型号 SSA-E45P SSA-E410P SSA-P610CP
加热方式 聚焦光圆柱加热 聚焦光圆柱加热 平行光圆柱加热
Temperature Range RT ~ 1400 °C RT ~ 1200 °C
控温范围 φ15 × L50 (mm) φ15 × L100 (mm) φ50 × L100 (mm)
均热区 φ10 × L40 (mm) φ10 × L80 (mm) φ40 × L80 (mm)
加热腔 石英腔(φ30 mm)-流动气氛型 石英腔(φ98 mm)流动气氛
样品支架 石英支架 石英支架 2英寸石英支架
热电偶 R型热电偶
温控器 TPC5000-32-1 TPC5000-62-1

* 加热温度or升温速率 根据被加热样品的红外反射率,吸收率,热容和材料而变化。

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