赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
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簡易型赤外線ランプ加熱装置 SSAシリーズ

赤外線ゴールドイメージ炉と石英チャンバの簡易型装置。
赤外線ゴールドイメージ炉及び試料ホルダを含んだ石英チャンバから構成される低価格の加熱システムです。

用途

  • 化合物半導体のアロイング
  • Si、化合物半導体のRTA
  • セラミック基板上の積層材の焼成炉
  • ガラス・セラミック基板のアニール炉

特長

  • 石英チャンバは、ガスフロータイプまたは真空タイプを選択可能(標準は、ガスフロータイプ)
  • オプションで、ガスフロータイプと真空タイプを両方兼ねることが可能

仕様

型式 SSA-E45P SSA-E410P SSA-P610CP
温度範囲 室温~1400℃(MAX) 室温~1400℃(MAX) 室温~1200℃(MAX)
熱処理ゾーン φ15mm×50mmL φ15mm×100mmL φ50mm×100mmL
均熱ゾーン(保持時目安) φ10mm~40mmL φ10mm×80mmL φ40mm×80mmL
測定雰囲気 ガスフロー中 真空中 大気中
アプリケーション ロータリーポンプ排気セット
冷却水循環装置

お気軽にお問い合わせください。

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