赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
製品案内

赤外線ゴールドイメージ炉 Ps,Pssシリーズ

カーボンナノチューブの生成装置や生産装置まで幅広い分野でご利用可能。
平板面状放射型赤外線加熱炉はφ2in~φ300mmまでのウエハ用アニールシステムや生産用焼成炉などにご利用頂けます。

用途

  • 大型ガラス基板(太陽電池、FDP等)の加熱
  • 半導体ウエハの高温高速加熱

特長

  • Psタイプは幅40mmの反射面を有し、Pssタイプは幅20mmの反射面で高密度ランプ配置が可能
  • Psタイプ、Pssタイプともに、反射面の数を増やすことで、幅広い面積を加熱することが可能

仕様

型式 Ps15V Ps18V Ps110V Ps116V
熱処理ゾーン 約30mm×50mm 約30mm×70mm 約30mm×90mm 約30mm×140mm
型式 Ps35V Ps38V Ps310V Ps316V
熱処理ゾーン 約80mm×50mm 約80mm×70mm 約80mm×90mm 約80mm×140mm
型式 Pss34V Pss78V Pss1108V Pss35V
熱処理ゾーン 約50mm×30mm  約100mm×70mm 約100mm×110mm 約50mm×50mm 
型式 Pss38V Pss310V Pss316V Pss98V
熱処理ゾーン 約50mm×70mm  約50mm×90mm  約50mm×140mm 約150mm×140mm

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