赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-E/VHT/Pシリーズ

赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
赤外線ゴールドイメージ炉は、研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。
高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。

用途

  • 太陽電池、CIGS、CZTS 用アニール
  • SiC パワーデバイスのアニール
  • 金属材料の焼入、焼なまし
  • セラミックス材料の熱衝撃試験
  • ろう付用熱処理
  • 触媒用加熱炉(ガス分析)

特長

  • E型:楕円反射面を有し高温まで高速加熱することが可能
  • VHT型:ハロゲンランプ加熱方式で最高1800℃までの加熱が可能
  • P型:放物反射面を有し平行赤外光により広い面積を均一に加熱することが可能

仕様

  • E型
  • VHT型
  • P型
RHL-E/VHT/P series
型式*1 加熱形態 最大加熱温度*2 加熱長(発光長) ランプ電圧 電力
E110L 集光片面加熱 - 265mm 200V 2.0kW
E25N 集光管状加熱 1100℃ 140mm 100V 2.0kW
E25P 1300℃ 200V 2.4kW
E45N 1100℃ 100V 4.0kW
E45P 1400℃ 200V 4.8kW
E410N 1100℃ 265mm 200V 4.0kW
E410P 1400℃ 8.0kW
VHT-E44 1700℃ 100mm 200V 8.0kW
VHT-E64 12.0kW
VHT-E48 1800℃ 225mm 480V 24.0kW
VHT-E68 36.0kW
P44CP 平行光管状加熱 1200℃ 100mm 100V 4.0kW
P48CP 200mm 200V 6.4kW
P410CP 265mm 8.0kW
P65CN 900℃ 140mm 100V 6.0kW
P65CP 1200℃ 200V 7.2kW
P610CN 900℃ 265mm 6.0kW
P610CP 1200℃ 12.0kW
P810CN 900℃ 8.0kW
P810CP 1100℃ 16.0kW
*1 型式番号の意味Eタイプ、Pタイプ
E45Pの場合
E:反射面型式、4:ランプ本数、5:ランプの長さ(インチ)、P:ランプの種類
P610CPの場合
P:反射面型式、6:ランプ本数、10:ランプの長さ(インチ)、C:加熱形態、P:ランプの種類
反射面型式
Eは楕円面反射、Pは放物面反射
ランプ種類
NはNランプ、PはPランプ

*2 最大加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。

●加熱炉には、冷却水が必要です。予めご了承ください。
●上記以外にも、豊富に取り揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。

原理

赤外線ランプのエネルギー分光分布

赤外線ランプのエネルギー分光分布
1. ラディエーション加熱
赤外線ゴールドイメージ炉は高エネルギー密度の赤外線ランプを熱源とした、ラディエーション(ふく射)加熱炉です。ゴールドをコーティングした水冷アルミニウム反射面に赤外線を反射させることにより、高熱ゾーンを短時間に高精度に実現できます。
2. 赤外線ランプ
発熱体の赤外線ランプは石英ガラス管にタングステンフィラメントを封じ込んだ棒状ランプです。放射波長はほぼ1.15ミクロンにピークを持つ近赤外線スペクトルです。一般の抵抗炉に比べて、10~15倍エネルギー密度と高い発光温度を有しています。
3. 反射面
精密な曲率加工を施した水冷アルミニウム反射面に、ゴールドをコーティングすることにより反射効率の向上と反射面の劣化の防止を図っています。赤外線ゴールドイメージ炉は反射面の形状から楕円面反射形と放物面反射形の二種類に分けられます。
4. 楕円面反射形 RHL-Eシリーズ
楕円面の焦点に赤外線ランプを配置し、一方の焦点にエネルギーを集光。ランプユニットを管状に組合せることにより、棒状試料の加熱が可能です。
5. 放物面反射形 RHL-Pシリーズ
赤外線エネルギーを並行に反射します。ランプユニットを並列に連ねることにより広い面の均一加熱が可能。また管状に組合せることにより、円筒状の均熱ゾーンを形成できます。
6. 超高熱ゴールドイメージ炉 VHTシリーズ
VHTシリーズは瞬間的により超高温を得るために開発された楕円面反射形の赤外線ゴールドイメージ炉です。超高密度エネルギーの赤外線ランプにより、RHLシリーズに比べ、約2倍の放射エネルギーを実現、パルス状加熱に最も適しています。

E型

最大加熱速度試験

使用炉
E410P
サンプル
W10×L50×T1(mm)
雰囲気
大気中
材質
SUS板

VHT型

超高温炉による最大加熱速度試

使用炉
VHT-E68
サンプル
φ12×L30(mm)
雰囲気
N2フロー中
材質
カーボン

P型

最大加熱速度試験

使用炉
P610CP
サンプル
W20×L50×T0.8(mm)
雰囲気
大気中
材質
SUS板

温度分布試験

使用炉
P610CN
サンプル
W50×L100×T4(mm)
雰囲気
N2フロー中
材質
カーボン

多段ステップ加熱試験

使用炉
P610CN
サンプル
W50×L80×T0.5(mm)
雰囲気
N2ガス中
材質
SUS板

ガス種による冷却速度

使用炉
P610CP
サンプル
W50×L80×T0.5(mm)
材質
SUS板
流量
10ℓ/分
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