这是一种升温解吸气体分析仪，将温度升高到目标温度，并用四极质量过滤器测量从样品中解吸的气体。
用途
- 真空润滑脂，O形圈等各种真空材料的评价
- 半导体晶片和芯片的评估
- 合金、陶瓷、固体材料等的微量气体分析
特長
- 在10-5Pa高真空下进行质谱测量
- 提供从高速加热到低速加热的广泛设定范围，允许多级步进加热和循环加热
- 由于红外线灯加热，石英反应管为冷壁，几乎没有排放气体
- 使用可选的RS-232C计算机，轻松收集数据
仕様
| 温度范围 | RT ～ 1000℃ |
|---|---|
| 样品尺寸 | 角20mm x 2mm厚 |
| 气氛 | 真空中 |
| 加热方式 | 抛物面反射红外管状加热系统 |
| 温度传感器 | 热电偶（JIS“K”） |
| 达到真空度 | 10-5帕（烘烤8小时后） |
| 测量质量数范围 | 1 ～ 200amu |
| 安全项目 | 冷却水流量和漏电(ELB) |
| 灵敏度 | 4A/Pa |
| 分辨率 | M/△M＝1M（10％ P.H.） |
