赤外線ゴールドイメージ炉、ゼーベック係数測定装置(ZEM)など、アドバンス理工は多彩な熱技術をベースに未踏の分野に挑戦します。
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昇温脱離ガス分析装置 TDS-M202R

質量分析計を用いて脱離ガスの定性分析に赤外線ゴールドイメージ炉により試料を昇温させながら、試料温度と放出ガスの関係を四重極型質量分析計で分析します。

用途

  • 真空グリース、O-リングなどの各種真空材料の評価
  • 半導体ウェハ、チップの評価
  • 合金、セラミックス、固体材料などの微量ガス分析

特長

  • 高真空10-5  Pa台で質量分析測定が可能。
  • 赤外線ランプ加熱により石英製反応管はコールドウォールで放出ガスがほとんどありません。
  • 高速加熱から低速加熱までの幅広い設定範囲を持ち多段ステップ加熱やサイクル加熱が可能。

仕様

型式 TDS-M202R
測定物性 定性ガス分析
温度範囲 室温~1000℃(MAX1200℃)
試料寸法 20mm角×2mmH
測定雰囲気 真空中

この製品を利用した受託分析のご案内

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