随着热电材料的发展，各种材料都需要更高水平的评估。
该设备「热电表征设备ZEM-5系列」是一种性能评估设备，能够满足不同需要，规格专注于各种材料，包括高温、高电阻及薄膜。
用途
- 半导体，陶瓷，金属等广泛材料的热电特性评价
特長
- 适用于各种热电材料和薄膜等特殊规格的系列
- 温度传感器采用C热电偶，是评估Si基热电材料（SiGe，MgSi等）的理想选择（HT型）
- 标配自诊断欧姆接触的V/I图
- 最高可测量1200°C（HT型）
- 最高10MΩ的高电阻（HR型）
- 能够测量沉积在衬底上的材料（TF型）
- 可在-150°C至200°C之间进行温度控制（LT型）
专利和标准
热电能JIS R 1650-1电阻率JIS R 1650-2
仕様
| 型式 | ZEM-5HT | ZEM-5HR | ZEM-5LT | ZEM-5TF |
|---|---|---|---|---|
| 特性 | 高温型 | 高电阻型 | 低中温型 | 薄膜型 |
| 温度範囲 | 100℃〜1200℃ | 100℃〜800℃ | -150℃〜200℃ | 50℃〜500℃ |
| 测量气氛 | 低压He气体中 | |||
| 样品尺寸 | 角2-4mm或φ2-4mm×长3-15mm | 成膜基板： 宽2-4mm×厚0.4-1.2mm×长20mm 薄膜厚度:纳米级或更高 ※在样品膜和衬底之间需要绝缘层。 |
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| 热电偶 | C热电偶 | R型热电偶 | K热电偶 | R型热电偶 |
| 测量精度 | 塞贝克系数±7% 电阻率±7%（长5mm以下的试料不在对象范围内） |
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设备配置
- 样品测量/控制/测量系统1台
- 数据处理计算 公式(1)
- 气氛调节装置1台
实用程序（HT型）
| 电源 | 1个AC200V 40A机身 2个PC AC100V 10A插座 |
|---|---|
| 冷却水 | 水压0.15 MPa, 流量5升/分钟 |
| 大气气体 | 减压氦气0.2 MPa（减压静态气氛） |
| 机身占地面积 | 宽约750mm×深约900mm（放在桌面上） |
塞贝克系数计算方法
在塞贝克系数的测量中，将温差改变3个以上，除去暗电动势求得。
设置和测量屏幕
