熱電特性評価装置 ZEM-5シリーズ

各種熱電材料の特性や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ。
熱電材料の開発が進むにつれ、各種材料で、より高いレベルの評価が求められるようになりました。
本装置「熱電特性評価装置 ZEM-5 シリーズ」は、高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特長に特化した仕様で、さまざまなニーズにお応えできる性能評価装置です。

用途

  • 半導体系、セラミックス系、金属系などの幅広い材料の熱電特性評価

特長

  • 各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ
  • 温度検出センサに、C熱電対を採用し、Si系熱電材料(SiGe、MgSiなど)の評価に最適(HT型)
  • オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備
  • 最高1200℃までの測定が可能(HT型)
  • 最大10MΩの高抵抗に対応(HR型)
  • 基板に成膜された材料の測定が可能(TF型)
  • ‐150℃~200℃の温度制御が可能(LT型)

特許や規格

熱電能JIS R 1650-1
抵抗率JIS R 1650-2

仕様

型式 ZEM-5HT ZEM-5HR ZEM-5LT ZEM-5TF
特長 高温型 高抵抗型 低中温型 薄膜型
温度範囲 100℃〜1200℃ 100℃〜800℃ -150℃〜200℃ 50℃〜500℃
測定雰囲気 低圧Heガス中
試料寸法 角2〜4mmまたはφ2〜4mm×長3〜15mm 成膜基板:
幅2〜4mm×厚0.4〜1.2mm×長20mm
薄膜厚:nmオーダ以上
※サンプル膜と基板の間に絶縁層を要す。
熱電対 C熱電対 R熱電対 K熱電対 R熱電対
測定精度 ゼーベック係数±7%
電気抵抗率±7%(長5mm 以下の試料は対象外)

装置構成

  • 試料測定・制御・計測系 1台
  • データ処理計 1式
  • 雰囲気調節装置 1台

ユーティリティ(HT型)

電源 本体 AC200V 40A 1 箇所
パソコン AC100V 10A コンセント2箇所
冷却水 水圧0.15MPa 流量5ℓ/min
雰囲気ガス 減圧ヘリウムガス 0.2MPa(減圧静止雰囲気)
本体設置面積 幅約750mm× 奥行約900mm(机上置き)

ゼーベック係数算出方法

ゼーベック係数の測定では、温度差を3点以上変えて、暗起電力を除去して求めます。

設定・測定画面

温度設定画面
V/I プロット画面
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