本装置は、既存の赤外線加熱装置 RTP-6 をコンパクトな卓上型にした装置です。
従来の熱排気ユニットを削除し、冷却ファンを採用した事で、効率良い冷却と騒音低減で静音加熱を実現しました。
特長
- 小片チップ、2、4、6インチまでの薄板ウェハの高速加熱が可能
- 専用のプログラムソフトで温度レシピの簡単入力
- 冷却ファンによる騒音の大幅低減を実現
- 冷却水フローチェッカーを取り付け、安全対策を実現
- プロセスガス(N2ガス)用にマスフローコントローラ付き
- PLC、温調器、タッチパネル、過昇温度 等、制御系の充実
仕様
| 温度範囲 | RT～1000℃ max.1100℃ |
|---|---|
| 試料寸法 | 標準 φ6 インチウエハ1 枚（その他 ウェハ形状は別途相談） |
| 雰囲気 | N2ガスフロー中、真空中（真空排気装置はオプション） |
| 最大加熱速度 | 10℃/s （SiC コートカーボンサセプタ使用） |
| 均熱精度 | ΔT＝10℃ 800℃ 保持時2分後、N 2 ガスフロー中 （SiC コートカーボンサセプタ使用） |
| 制御センサ | 熱電対JIS ｰK |
ユーティリティ
| 装置寸法 | 約W600 × D660 × H780 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 約100 kg |
| 所要電源 | 三相AC200V、100A |
| 所要冷却水 | 16L/min 以上、0.3MPa 以上、0.4MPa 以下 （圧力は設置環境により変わります） |
| 冷却水取合い | φ19×φ26 テトロンブレードホース用カンタッチ継手渡し |
| 真空引口 | KF-16渡し |
系統図
