熱電材料の開発が進むにつれ、各種材料で、より高いレベルの評価が求められるようになりました。
本装置「熱電特性評価装置 ZEM-5 シリーズ」は、高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特長に特化した仕様で、さまざまなニーズにお応えできる性能評価装置です。
用途
- 半導体系、セラミックス系、金属系などの幅広い材料の熱電特性評価
特長
- 各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ
- 温度検出センサに、C熱電対を採用し、Si系熱電材料（SiGe、MgSiなど）の評価に最適（HT型）
- オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備
- 最高1200℃までの測定が可能（HT型）
- 最大10MΩの高抵抗に対応（HR型）
- 基板に成膜された材料の測定が可能（TF型）
- ‐150℃～200℃の温度制御が可能（LT型）
特許や規格
熱電能JIS R 1650-1抵抗率JIS R 1650-2
仕様
| 型式 | ZEM-5HT | ZEM-5HR | ZEM-5LT | ZEM-5TF |
|---|---|---|---|---|
| 特長 | 高温型 | 高抵抗型 | 低中温型 | 薄膜型 |
| 温度範囲 | 100℃〜1200℃ | 100℃〜800℃ | -150℃〜200℃ | 50℃〜500℃ |
| 測定雰囲気 | 低圧Heガス中 | |||
| 試料寸法 | 角2〜4mmまたはφ2〜4mm×長3〜15mm | 成膜基板： 幅2〜4mm×厚0.4〜1.2mm×長20mm 薄膜厚：nmオーダ以上 ※サンプル膜と基板の間に絶縁層を要す。 |
||
| 熱電対 | C熱電対 | R熱電対 | K熱電対 | R熱電対 |
| 測定精度 | ゼーベック係数±7% 電気抵抗率±7%（長5mm 以下の試料は対象外） |
|||
装置構成
- 試料測定・制御・計測系 1台
- データ処理計 1式
- 雰囲気調節装置 1台
ユーティリティ（HT型）
| 電源 | 本体 AC200V 40A 1 箇所 パソコン AC100V 10A コンセント2箇所 |
|---|---|
| 冷却水 | 水圧0.15MPa 流量5ℓ/min |
| 雰囲気ガス | 減圧ヘリウムガス 0.2MPa（減圧静止雰囲気） |
| 本体設置面積 | 幅約750mm× 奥行約900mm（机上置き） |
ゼーベック係数算出方法
ゼーベック係数の測定では、温度差を3点以上変えて、暗起電力を除去して求めます。
設定・測定画面
