熱電特性評価装置
ZEM-5シリーズ

各種熱電材料の特性や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ。
熱電材料の開発が進むにつれ、各種材料で、より高いレベルの評価が求められるようになりました。
本装置「熱電特性評価装置 ZEM-5 シリーズ」は、高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特長に特化した仕様で、さまざまなニーズにお応えできる性能評価装置です。

用途

半導体系、セラミックス系、金属系などの幅広い材料の熱電特性評価

特長

各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ
温度検出センサに、C熱電対を採用し、Si系熱電材料（SiGe、MgSiなど）の評価に最適（HT型）
オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備
最高1200℃までの測定が可能（HT型）
最大10MΩの高抵抗に対応（HR型）
基板に成膜された材料の測定が可能（TF型）
‐150℃～200℃の温度制御が可能（LT型）

仕様

型式	ZEM-5HT	ZEM-5HR	ZEM-5LT	ZEM-5TF
特長	高温型	高抵抗型	低中温型	薄膜型
温度範囲	100℃〜1200℃	100℃〜800℃	-150℃〜200℃	50℃〜500℃
測定雰囲気	低圧Heガス中
試料寸法	角2〜4mmまたはφ2〜4mm×長5〜15mm			成膜基板：幅2〜4mm×厚0.4〜1.2mm×長20mm 薄膜厚：nmオーダ以上 ※サンプル膜と基板の間に絶縁層を要す。
熱電対	C熱電対	R熱電対	T熱電対	R熱電対
測定精度	ゼーベック係数±7%　±10%（LT）電気抵抗率±7%（長5mm 以下の試料は対象外）　±10%（LT）