本装置是国立研究开发法人产业技术综合研究所开发的。
通过安装标准电导单元，该气体渗透率测量装置能够高灵敏度地测量渗透量的绝对值。
用途
作为食品、饮用水、药品等包装材料和电子设备中的密封材料被广泛使用的阻气膜的气体透过率测量特長
- 标准电导单元允许测量绝对校准的测量值
- 使用质谱仪测量水蒸气和多种气体类型（O2、N2等）的透过率
仕様
| 测量温度范围 | 40摄氏度（典型值） *但不超过样品的耐热温度 |
|---|---|
| 最小测量灵敏度 | 水蒸气:-10--6g/m2/day 级别 氧气:~10--2cc/m2/day 级别 |
| 可测量气体 | 水蒸气，氧气，氮气等 |
| 气体检测方法 | 四极质谱仪 |
型式
| 型式 | 1CM | 1CA | 2CM | 2CA |
|---|---|---|---|---|
| 采样数（腔室数） | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 数据分析 | 手动 | 自动 | 手动 | 自动 |
测量原理
- 标准曲线的制作:在没有样品的情况下，使用标准电导单元输入气体，并使用质谱仪测量离子电流值。重复几次，制作校准曲线。
- 插入示例:放入样品，用涡轮分子泵将样品室抽真空至超高真空状态。
- 气体导入和测量开始:在超高真空状态下，从样品室上游引入气体，开始测量。用质谱仪测量透过样品的气体的离子电流值。
- 分析透射量:通过使用校准曲线，从渗透气体的离子电流值确定渗透量。
测量示例
实用程序
| 设备尺寸 | W 1010 × D 688 × H 1680 (mm) |
|---|---|
| 所需电源 | 交流100V单相约3.0 kVA |
| 所需接地 | D种 |
| 气压及其他 | 排气用氮气和压缩空气 |
