超高精度レーザ熱膨張計
SuperLIX
1×10-8/K以下の膨張精度の世界へ
世界最高峰の超高精度熱膨張測定 ※市販量産型計測装置として
用途事例
- ゼロ膨張材料の開発
- 負極負熱膨張材料の開発
- 標準材料の開発
- アクチュエータ材料の開発
用途
- 10-8/Kレベルの極低膨張率材料（ガラス、セラミックス、金属等）の高精度膨張測定
－半導体生産における露光に関する部品の測定
－精密ステージ部品の測定
－航空宇宙関係高精度要求材料の測定
－高精度フォトグラム基板用部材の測定 - 低膨張率材料の品質管理
特長
- 装置内部に除振メカニズムを内包することで、振動外乱の影響を防ぐことが出来、一般的な分析用電子天秤（分解能0.01mg）を安定使用出来る程度の環境で測定することが可能です。（特願2016-058190、058191、058192）
- レーザ波長（632.8nm）を基準にして、試料の変位量を測定します。光学素子を一体化することで迷光を排除することができ、干渉縞信号のS/N比が向上しています。特別な変位較正のための測定や操作は不要です。
- 干渉縞をイメージ・センサーで検出し、画像処理することにより、試料測定中においても変位(膨張･収縮)量を高分解能（1nm）で算出し、膨張率の確認が出来ます。
仕様
| 型式 | SuperLIX-R |
|---|---|
| 温度範囲 | 標準型5～50℃（高精度恒温循環システム使用） |
| 試料寸法 | φ5又は□5±0.5mm×長さ12～20mm（標準試料寸法 φ5×20mmL、標準的な試料として端面R加工） |
| 測定雰囲気 | 減圧He雰囲気 |
| 測定方法 | 二重光路式マイケルソン型レーザ干渉方式 |
ユーティリティ
| 設置床面積 | 約1200㎜（W）×760㎜（D）×1600mm（H） ※チャンバー取り外し時 2500mm（H）以上スペースが必要です |
|---|---|
| 所要電源 | PC（モニタ、本体）: AC100Ｖ 15A（コンセント、アース付） 2ヶ所 排気系 : AC200V 三相 15A 1ヶ所 ガス導入系 : AC100V 単相 15A 1ヶ所 恒温水循環器 : AC100Ｖ 15A（コンセント、アース付） 1ヶ所 |
| 所要接地 | D種（接地抵抗100Ω以下） 1ヶ所 |
測定例
特許や規格
JIS R3251-1990に準拠
特願2016-058190、058191、058192
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