特殊气体の装置一覧
基于惰性气体，我们提供的红外加热机制可以使用特殊气体（如氨气、臭氧等），适用于从小型芯片到12英寸材料的处理。根据客户需求，我们可以定制设计和生产相应设备。
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RTA 系列 快速热退火炉（2~12Inches）可处理2~12 英寸的样品，10s内即可到设置的退火温度。 该炉体采用水冷壁的结构，结合红外加热的的高能量密度，近红外的波长和快速的升温特点，并通过高精度，快速……
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MILA-5050 桌面型 快速退火炉（2inch）Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉，可用于处理φ50mm以内的样品。 用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对……
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SSA 系列 简易红外金面退火炉SSA系列是一款经济型红外金面退火炉系统。 该系统搭配了红外金面炉，样品支架以及用于气氛控制的石英腔。
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