特殊ガスの装置一覧
不活性ガスをベースに、アンモニア、オゾン等の特殊ガスを用いた赤外線加熱機構で小片チップから12インチまで製作可能です。ご要望に応じたお客様毎の設計製作が可能です。
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赤外線ランプアニール装置 RTAシリーズ目標温度まで10秒！ 弊社の赤外線ランプ加熱は、高エネルギー密度、近赤外線、高熱応答性、温度制御性、真空によるクリーン加熱に自信があります。２インチ(50mm)……
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簡易型赤外線ランプ加熱装置 SSAシリーズ赤外線ゴールドイメージ炉と石英チャンバの簡易型装置。 赤外線ゴールドイメージ炉及び試料ホルダを含んだ石英チャンバから構成される低価格の加熱システムです。
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雰囲気可変型ランプ加熱装置 QHCシリーズ／VHCシリーズ太陽電池/化合物半導体等のプロセス開発や様々なアプリケーションとセットアップが可能。 QHC・VHCシリーズは赤外線ゴールドイメージ炉と温度コントローラを組合せ……