熱膨張の測定法は、押し棒式、光干渉法、望遠測長法、キャパシタ法などがあります。
最も高精度測定が可能とされている二重光路マイケルソンレーザ光干渉法を採用しています。
ゼロ摩擦平行移動ミラーの採用により、試料端面を球面加工するだけで簡単に測定することができます。
また、オプションの石英スペーサを使用して、フィルムに求められる厚さ方向の測定を温度可変しながら、測定することができます。二重光路マイケルソンレーザ光干渉法熱膨張計LIX-2 は、業界唯一の市販モデルです。
用途
- 有機フィルムの厚さ方向膨張測定
- 低膨張ガラスの高精度膨張測定
- 低膨張金属材料の品質管理測定
- 封止材の膨張測定
- 各種電子部材の精密熱膨張測定
- 標準熱膨張計の校正試料の測定
特長
- 平行移動式試料ホルダにより安定した測定が可能
- 読み取り分解能1nm の超精密測定
- 石英試料を用いれば、厚さ50 ～ 500μmのフィルム、薄板の厚さ方向の測定も可能
特許や規格
JISR3251-1995に準拠 平行移動式試料ホルダ（特許）仕様
| 型式 | LIX-2M | LIX-2L |
|---|---|---|
| 温度範囲 | RT ～ 700℃ | －150 ～ 200℃ |
| 試料寸法 | φ3～6㎜×長さ10㎜～15㎜ 長さ方向の両端は球面仕上げ | |
| 測定雰囲気 | ➀真空中 ➁低圧高純度Heガス中 | |
| 測定方法 | 二重光路マイケルソン型レーザ光干渉方式 | |
測定原理
ユーティリティ
| 設置床面積 | 本体 約 W2000㎜ × D800㎜ |
|---|---|
| 所要電源 | 本体 AC100Ｖ 15Ａ（コンセント、アース付）2ヶ所 |
| 所要接地 | D種（接地抵抗100Ω以下） |
| 冷却水 | 市水、又は蒸留水 3L/min 以上、圧力 0.15 MPa 以上 |
測定例
ゼロ膨張ガラスの測定結果
＊いずれも、±150℃の範囲内で、熱膨張係数10-8/Kの評価ができている。
