種材料のアニール、ガスクェンチなど急速／低速加熱処理を雰囲気可変下で行えます。
熱処理
熱処理
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1100℃ | 大気中 不活性ガス中 ※その他のガスは要相談 |
幅50㎜×長さ100㎜ 厚さ1〜10㎜ ※形状に関しては要相談 |
熱処理（高真空）
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1100℃ | 真空中 | 最大 角20㎜×厚2㎜ |
熱処理
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1200℃ | 大気中 不活性ガス中 ※その他のガスは要相談 |
最大 角50㎜×厚5㎜ |
測定装置：卓上型ランプ加熱装置 MILA-5050
熱処理
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1800℃ | 大気中 不活性ガス中 ※その他のガスは要相談 |
角15㎜×厚さ1㎜ |
熱処理
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1000℃ | 大気中 不活性ガス中 ※その他のガスは要相談 |
最大6インチウエハ |
測定装置：赤外線ランプ加熱装置 RTP-6
熱衝撃
| 測定温度範囲 | 測定雰囲気 | 試料形状、寸法 |
|---|---|---|
| 室温〜1800℃ | 大気中 不活性ガス中 ※その他のガスは要相談 |
Φ12mm×長さ13mm |
