受託分析

薄膜コーティング・ナノ粒子コーティングの受託分析

金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子をパルスアーク蒸着により形成します。膜の平坦性、微粒子形成など他の蒸着法では得られない効果が得られます。

粉末へのナノ粒子担持

ナノ粒子 粉末材質、大きさ、容量 金額
1~20nm
導電体金属 (融点150℃以上)
半導体
材質
カーボン、アルミナ、シリカ等
大きさ
10μm~約1mm
容量
10〜20cc
別途お見積もり

金属薄膜

蒸着材料 基板形状、膜厚 金額
導電体金属 (融点150℃以上)
半導体
形状
最大φ2インチ
膜厚
1〜20μm
※μm厚さに関しては要相談
別途お見積もり

成膜確認済み元素

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
Li Be B C N
Na Mg Al Si P
K Ca Sc Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As
Rb Sr Y Zr Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb
Cs Ba   Hr Ta W Re Os Ir Pt Au Hg Ti Pb Bi
Fr Ra   Rf Db Sg Bh Hs Mt Ds   Dy      

  実績有   実績有、在庫有   使用に制限有
成膜確認済化合物:WC,TiAl,SiC,インコネル,TiN,アルミナ,AlN,TiO2,SiP2,HfOx,HfC,NdFeB

測定装置:アークプラズマ法ナノ粒子形成装置 APDシリーズ