ガス透過率測定装置 GTms-1シリーズ

ガス透過量の絶対値を高感度に測定。
本装置は、国立研究開発法人産業技術総合研究所が開発しました。
標準コンダクタンスユニットを搭載することで、透過量の絶対値を高感度に測定できるガス透過率測定装置です。

用途

食品、飲料水や薬品などの包装材や電子デバイスにおける封止材として広く使われているガスバリアフィルムのガス透過率測定

検量線の作製：サンプルが無い状態で標準コンダクタンスユニットを用いてガスを投入し、質量分析器を用いて、イオン電流値を測定します。これを何回か繰り返すことで、検量線を作製します。
サンプル挿入：サンプルを入れて、試料チャンバー内をターボ分子ポンプにより超高真空状態まで排気します。
ガスの導入と測定開始：超高真空状態になったら、試料チャンバーの上流側からガスを導入し、測定を開始します。試料を透過したガスのイオン電流値を質量分析器によって測定します。
透過量の解析：検量線を用いて、透過したガスのイオン電流値から透過量を求めます。